Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz

Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz ZusammenfassungWir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich. http://www.deepdyve.com/assets/images/DeepDyve-Logo-lg.png tm - Technisches Messen de Gruyter

Messen von asphärischen Linsenformen mittels räumlicher Kohärenz

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Publisher
de Gruyter
Copyright
© 2019 Walter de Gruyter GmbH, Berlin/Boston
ISSN
2196-7113
eISSN
2196-7113
DOI
10.1515/teme-2019-0025
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Abstract

ZusammenfassungWir zeigen den Vergleich zweier interferometrischer Verfahren zur Formprüfung anhand einer Messung an einer Zylinderlinse. Das erste Verfahren, die Multiple Aperture Shear Interferometry (MArS), basiert auf der Messung der Kohärenzfunktion mittels eines Scher-Interferometers. Es erlaubt interferometrische Messungen unter gleichzeitiger Verwendung mehrerer unabhängiger und teilkohärenter Lichtquellen, und ermöglicht so eine flexible, an den Prüfling anpassbare Ausleuchtung. Als Vergleichsverfahren kommt die Computational Shear Interferometry (CoSI) zur Messung von Wellenfronten zum Einsatz. Da beide Messverfahren auf einem Scher-Interferometer basieren, ist ein direkter Vergleich unter identischen Umgebungsbedingungen möglich.

Journal

tm - Technisches Messende Gruyter

Published: May 26, 2019

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