%0 Journal Article
%T Diamantähnliche Kohlenstoffschichten: Herstellung, Eigenschaften und Anwendungen
%A Schürer, Christian
%J Vakuum in Forschung und Praxis
%V 8
%N 3
%P 163-169
%@ 0947-076X
%D 1996-01-01
%I Wiley Subscription Services, Inc., A Wiley Company
%~ DeepDyve