TY - JOUR
AU - 
AB - В Е С Т Н И К П Е Р М С К О Г О У Н И В Е Р С И Т Е Т А –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– 2018 • ФИЗИКА • Вып. 3 (41) УДК 535.8 PACS 07.07.Df Интегрально-оптический датчик давления a b b a А . А. К о з л ов , А. А . К он д ак ов , У. О. Са л г а е в а , А . Б . Во лы н ц е в Пермский государственный национальный исследовательский университет 614990, Пермь, ул. Букирева, 15 email: andreykozlov10031994@gmail.com ООО «МИП «Пермские нанотехнологии» 614990, Пермь, ул. Букирева, 15 email: kondakow90@gmail.com email: ulyanasalgaeva@yandex.ru Проведено исследование прототипа интегрально-оптического датчика давления на основе кольцевого резонатора. При помощи метода фотополимерной 3D печати было изготовлено основание с полостью эталонного давления, на которое монтировался исследуемый чув- ствительный элемент. В качестве чувствительного элемента использовался кремниевый чип с волноводами на основе Si N /SiO . В работе представлена теоретическая модель инте- 3 4 2 грально-оптического датчика давления, на основе которой проведено численное моделиро- вание и произведен расчет чувствительности интегрально-оптического датчика давления. Для исследования датчика давления использовалась гидравлическая установка сравнитель- ной калибровки, которая позволяла контролируемо изменять давление. В ходе эксперимен- 
TI - Integrated optical pressure sensor
JF - Вестник Пермского университета. Физика
DO - 10.17072/1994-3598-2018-3-24-31
DA - 2018-01-01
UR - https://www.deepdyve.com/lp/unpaywall/integrated-optical-pressure-sensor-L5OgsNPkLc
DP - DeepDyve
ER -