%0 Journal Article
%T Nanoimprint template fabrication using wafer pattern for sub-30nm
%A Park, C. M.
%A Kim, K. J.
%A Lee, D. H.
%A Hwang, S. W.
%J Proceedings of SPIE
%V 7637
%N 1
%P 76371R-76371R-7
%@ 0277-786X
%D 2010-03-10
%I SPIE
%~ DeepDyve