%0 Journal Article %T Fabrication of corrugated probes for scanning near-field optical microscopy %A Wróbel, Piotr %A Stefaniuk, Tomasz %A Antosiewicz, Tomasz J. %A Libura, Adam %A Nowak, Grzegorz %A Wejrzanowski, Tomasz %A Slesinski, Robert %A Jedrzejewski, Kazimierz %A Szoplik, Tomasz %J Proceedings of SPIE %V 8070 %N 1 %P 80700I-80700I-7 %@ 0277-786X %D 2011-05-05 %I SPIE %~ DeepDyve