%0 Journal Article %T Resonant micromirror with symmetrical AIN thin film actuators %A Ruotsalainen, Konsta %A Morits, Dmitry %A Ylivaara, Oili M. E. %A Kyynäräinen, Jukka %J Proceedings of SPIE %V 12218 %P 122180B-122180B-8 %@ 0277-786X %D 2022-10-03 %I SPIE %~ DeepDyve