%0 Journal Article
%T Resonant micromirror with symmetrical AIN thin film actuators
%A Ruotsalainen, Konsta
%A Morits, Dmitry
%A Ylivaara, Oili M. E.
%A Kyynäräinen, Jukka
%J Proceedings of SPIE
%V 12218
%P 122180B-122180B-8
%@ 0277-786X
%D 2022-10-03
%I SPIE
%~ DeepDyve