%0 Journal Article
%T Optical MEMS devices for telecom systems
%A Pardo, Flavio
%A Bower, J. E.
%A Carr, Dustin
%A Cirelli, Raymond A.
%A Frahm, Robert E.
%A Keller, R. C.
%A Kim, Jungsang
%A Klemens, Fred P.
%A Kolodner, Paul R.
%A Kornblit, Avi
%A Kroupenkine, T.
%A Lai, Warren Y.
%A Lifton, Victor
%A Mansfield, William M.
%A Marom, Dan
%A Miner, John F.
%A Neilson, David T.
%A Pai, C. S.
%A Ramirez, A. G.
%A Taylor, J. A.
%A Teffeau, K.
%J Proceedings of SPIE
%V 5116
%N 1
%P 435-444
%@ 0277-786X
%D 2003-04-25
%I SPIE
%~ DeepDyve