%0 Journal Article
%T Multilevel integration of patternable low-॔ material into advanced Cu BEOL
%A Lin, Qinghuang
%A Chen, S. T.
%A Nelson, A.
%A Cohen, S.
%A Davis, B.
%A Fuller, N.
%A Kaplan, R.
%A Liniger, E.
%A Shobha, H.
%A Sooriyakumaran, R.
%A Purushothaman, S.
%A Spooner, T.
%A Miller, R.
%A Wisnieff, R.
%J Proceedings of SPIE
%V 7639
%N 1
%P 76390J-76390J-9
%@ 0277-786X
%D 2010-04-09
%I SPIE
%~ DeepDyve