%0 Journal Article
%T A Comparison Of The Optical Projection Lithography Simulators In Sample And Prolith
%A Crisalle, O. D.
%A Keifling, S. R.
%A Seborg, D. E.
%A Mellichamp, D. A.
%J Proceedings of SPIE
%V 1185
%P 171-187
%@ 0277-786X
%D 1990-01-30
%I SPIE
%~ DeepDyve