%0 Journal Article %T Production of multiply charge‐state ions in a multicusp ion source %A Williams, M. D. %A deVries, G. J. %A Gough, R. A. %A Leung, K. N. %A Monroy, M. %A , %J Review of Scientific Instruments %V 67 %N 3 %P 1384-1386 %@ 0034-6748 %D 1996-03-01 %I AIP Publishing %~ DeepDyve