%0 Journal Article %T A manufacturable dual channel (Si and SiGe) high-k metal gate CMOS technology with multiple oxides for high performance and low power applications %A Krishnan, S. %A Kwon, U. %A Moumen, N. %A Stoker, M.W. %A Harley, E.C.T. %A Bedell, S. %A Nair, D. %A Greene, B. %A Henson, W. %A Chowdhury, M. %A Prakash, D.P. %A Wu, E. %A Ioannou, D. %A Cartier, E. %A Na, M.-H. %A Inumiya, S. %A Mcstay, K. %A Edge, L. %A Iijima, R. %A Cai, J. %A Frank, M. %A Hargrove, M. %A Guo, D. %A Kerber, A. %A Jagannathan, H. %A Ando, T. %A Shepard, J. %A Siddiqui, S. %A Dai, M. %A Bu, H. %A Schaeffer, J. %A Jaeger, D. %A Barla, K. %A Wallner, T. %A Uchimura, S. %A Lee, Y. %A Karve, G. %A Zafar, S. %A Schepis, D. %A Wang, Y. %A Donaton, R. %A Saroop, S. %A Montanini, P. %A Liang, Y. %A Stathis, J. %A Carter, R. %A Pal, R. %A Paruchuri, V. %A Yamasaki, H. %A Lee, J-H. %A Ostermayr, M. %A Han, J-P. %A Hu, Y. %A Gribelyuk, M. %A Park, D.-G. %A Chen, X. %A Samavedam, S. %A Narasimha, S. %A Agnello, P. %A Khare, M. %A Divakaruni, R. %A Narayanan, V. %A Chudzik, M. %A , %J 2011 International Electron Devices Meeting %D 2011-12-01 %I IEEE %~ DeepDyve