%0 Journal Article
%T Advanced CMOS device technologies for 45 nm node and below
%A Veloso, A.
%A Hoffmann, T.
%A Lauwers, A.
%A Yu, H.
%A Severi, S.
%A Augendre, E.
%A Kubicek, S.
%A Verheyen, P.
%A Collaert, N.
%A Absil, P.
%A Jurczak, M.
%A Biesemans, S.
%J Science and Technology of Advanced Materials
%V 8
%N 3
%@ 1468-6996
%D 2007-04-30
%~ DeepDyve