%0 Journal Article
%T Development and verification of high precision cryogenic lens holders
%A Gal, C.
%A Gubbini, E.
%A Thiele, H.
%A Mottaghibonab, A.
%A Leberle, T.
%A Hilber, B.
%A Vongehr, M.
%A Boesz, A.
%A Gebler, H.
%A Sedlmaier, T.
%A Meister, A.
%A Gerstmeier, M.
%A Mecsaci, A.
%A Kusch, B.
%A Grupp, F.
%A Wimmer, C.
%A Bode, A.
%A Bodendorf, C.
%A Penka, D.
%A Katterloher, R.
%A Geis, N.
%A Bender, R.
%J Proceedings of SPIE
%V 10563
%P 105634G-105634G-10
%@ 0277-786X
%D 2017-11-14
%I SPIE
%~ DeepDyve