%0 Journal Article %T High-speed germanium p-i-n avalanche photodetectors on silicon %A Benedikovic, Daniel %A Virot, Léopold %A Aubin, Guy %A Hartmann, Jean-Michel %A Amar, Farah %A Szelag, Bertrand %A Le Roux, Xavier %A Alonso-Ramos, Carlos %A Crozat, Paul %A Cassan, Eric %A Boeuf, Frédéric %A Fédéli, Jean-Marc %A Kopp, Christophe %A Vivien, Laurent %J Proceedings of SPIE %V 11775 %P 117750G-117750G-10 %@ 0277-786X %D 2021-04-18 %I SPIE %~ DeepDyve