%0 Journal Article
%T Effect of Etching Methods on Dielectric Losses in Transmons
%A Chudakova, T. A.
%A Mazhorin, G. S.
%A Trofimov, I. V.
%A Rudenko, N. Yu.
%A Mumlyakov, A. M.
%A Kazmina, A. S.
%A Egorova, E. Yu.
%A Gladilovich, P. A.
%A Chichkov, M. V.
%A Maleeva, N. A.
%A Tarkhov, M. A.
%A Chichkov, V. I.
%J JETP Letters
%V 120
%N 4
%P 298-305
%@ 0021-3640
%D 2024-08-01
%I Pleiades Publishing
%~ DeepDyve